• عنوان

    بهينه سازي پارامترهاي Plsma etching جهت زدايش لايه هاي Si وSiO2

  • نويسنده اصلي

    مقدسي ، الناز

  • شماره ركورد
    112698
  • دانشگاه
    دانشگاه پيام نور
  • استاد مشاور
    شكري، علي اصغر
  • استاد راهنما
    حيدري ثاني ، مهدي
  • آدرس اينترنتي
    lib.pnu.ac.ir/dl/search/default.aspx?Term=21875&Field=0&dtc=7
    • لينک به اين مدرک
    https://iranlibs.ir/dl/search/default.aspx?Term=112698&Field=0&DTC=34