بررسي خواص مكانيكي لايه ي نازك TiCrN رشديافته با روش كندوپاش مغناطيسي فعال

كارشناسي ارشد

در اين پژوهش بوسيله‌ي روش كندوپاش مغناطيسي و با استفاده از لايه نشاني همزمان دو فلز تيتانيوم و كروم در حضور گاز نيتروژن لايه‌اي از جنس TiCrN بروي زير لايه‌ي استيل زنگ نزن 304 لايه نشاني گرديد. سپس تاثيرات جريان گاز نيتروژن بر مواردي همچون سختي، نسبت عناصر تشكيل دهنده‌ي لايه و ... بررسي شد. براي تجزيه و تحليل نسبت عناصر تشكيل دهنده‌ي لايه از آناليز طيف‌سنجي پراش انرژي پرتو ايكس (EDS) بهره گرفته شد. به منظور تحقيق بر روي سختي نمونه‌ها از آناليز نانو دندانه گذاري با دندانه گذار گوشه‌ي مكعب استفاده شد و در راستاي بررسي سطح دندانه گذاري شده تصاوير ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM) بكار گرفته شد. در اين بررسي‌ها مشخص شد كه با افزايش جريان نيتروژن و به موجب آن افزايش نسبت نيتروژن در لايه‌ي TiCrN، سختي اين لايه نيز افزايش مي‌يابد. واژه‌هاي كليدي: TiCrN، كندوپاش مغناطيسي، سختي، EDS، نانودندانه‌گذاري، AFM

191276

دانشگاه علم و صنعت ايران

دكتر روح اله عبدالوهاب

فيزيك حالت جامد

دكتر محمد رضا زماني ميميان