بررسي فرآيند laser backwriting و مشخصه يابي نمونه هاي مورد پردازش

كارشناسي ارشد

با توجه به هدف اين پايان¬نامه كه استفاده و بررسي پديده¬ي (Laser backwriting (LBW به عنوان يكي از روش هاي ساخت موجبرهاي نوري مي باشد، ابتدا ساير روش هاي ساخت و سپس مباني اين روش مرور شده است. مزيت عمده ي اين روش نسبت به ديگر روش ها سرعت بخشيدن به فرآيند ساخت و همچنين كم هزينه بودن آن است. همچنين مباني كندگي ليزري و برهم كنش يون هاي كم انرژي با جامدات كه هر دو طي پديده ي (LBW) اتفاق مي افتند بررسي شده است. در اين پايان نامه فرآيند (LBW) در زيرلايه هاي شفاف شيشه و كوارتز با استفاده از نمونه ي هدف استيل انجام شده است. براي اين منظور از ليزر كيوسوئيچ شده ي Nd:YAG با طول موج 1064 نانومتر استفاده شده است. تغييرات مشاهده شده در زيرلايه ها به ويژه تغيير ميزان نفوذ يون در مواد شفاف طي آناليزهاي مختلف نظير طيف سنجي، پروفايلومتري سطح و آناليزهاي SEM و EDX بررسي شده است. تعداد پالس، نرخ تكرار و شاريدگي ليزر ، كه سه عامل مهم در ميزان پلاسماي حاصل از كندگي از سطح فلز استيل و در نتيجه ايجاد تغييرات در زيرلايه هاي شفاف هستند نيز بررسي شده اند. در اين پايان نامه نتايج به دست آمده براي هر دو زيرلايه با در نظر گرفتن شرايط آزمايش يكسان تحليل شده و نتايج به دست آمده در شرايط مختلف تابش دهي و ضخامت متفاوت زيرلايه ها با يكديگر مقايسه شده است. مشاهدات نشان دهنده ي نتيجه ي رقابت بين پديده هاي مختلف فيزيكي است كه طي كندگي و برهم كنش يون با زيرلايه ها اتفاق افتاده است. با توجه به پيچيدگي كنترل فرآيندهاي مختلف كه طي (LBW) اتفاق مي افتد، سعي شده به صورت تجربي و بدون وارد شدن به جزئيات تئوري، نتايج مشاهده شده در اين پروژه توضيح داده شود تا مسير اصلي پايان نامه حفظ شود.

194737

دانشگاه علم و صنعت ايران

دكتر هديه پازكيان

فوتونيك

دكتر محمدرضا جعفرفرد - دكتر داود رزاقي